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半导体器件高低温测试设备

简要描述:半导体器件高低温测试设备(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-13
  • 访  问  量:120
详情介绍
品牌proteco/普泰克价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

半导体器件高低温测试设备(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,并采用变频控制及两级闭环节能控制,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

半导体器件高低温测试设备特点:

变频控制,智能PID控制

预测控制及自适应控制

模块化功能定制,高效节能

两级闭环节能控制

普泰克(proteco)制冷设备技术集合了多位生物制药领域、机械设计、软件自控的专业人才,依托于浙江大学制冷研究院的技术团队支持,致力于高低温设备的研究、开发、制造、销售。

我司借鉴欧美技术,以模块化部件为平台,衍生出多款高低温设备产品,提出:“个性化温度控制解决方案"的理念!严格按照客户要求进行规划和制造,产品广泛应用于国内外科学研究和工艺开发、新能源汽车、生物技术、医药行业、航空航天、半导体、医疗技术等行业。





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