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    半导体器件高低温测试设备

    半导体器件高低温测试设备（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。

    更新时间：2024-03-13型号：浏览量：568
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