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半导体温控系统主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。
PTHC反应釜温度控制系统(反应釜温控系统)采用磁耦合高温循环泵,杜绝系统泄漏风险、密封好,流速大,确保设备能更快为外部系统换热。配备人性化7英寸真彩LCD触摸屏,良好的人机交互界面,直观显示本机参数及外部控温参数。
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