恒温恒湿控制机
简要描述:恒温恒湿控制机在基板曝光前,能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气,温度控制精度可达目标值±0.01℃,充分满足制程环境对温控的要求。该设备的应用,不仅确保了产线环境的稳定,更为产品的高良率提供了坚实保障。
- 产品型号:
- 厂商性质:生产厂家
- 更新时间:2024-11-15
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详情介绍
品牌 | proteco/普泰克 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 环保,食品,化工,制药,综合 |
【设备特点】
1、精确温湿度调控:确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率
2、定制化风量设计:根据客户的具体需求,定制风量,送风单元结构均匀布置,确保空气流通的均匀性,进一步提升制程质量。
3、超准温度控制:温度控制精度高达±0.01℃,远超行业标准,为产线环境提供了稳定性,从而确保了产品的优良率。
【产品应用】
1、温度控制精度:±0.1℃~±0.01℃
2、湿度控制精度:±2%RH~±1%RH
3、广泛适用领域:该设备广泛应用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂等精密温湿度控制领域,助力企业提升产品质量,确保生产过程的稳定与高效。
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