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恒温恒湿控制机

简要描述:恒温恒湿控制机在基板曝光前,能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气,温度控制精度可达目标值±0.01℃,充分满足制程环境对温控的要求。该设备的应用,不仅确保了产线环境的稳定,更为产品的高良率提供了坚实保障。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-15
  • 访  问  量:84
详情介绍
品牌proteco/普泰克产地类别国产
应用领域环保,食品,化工,制药,综合

【设备特点】


1、精确温湿度调控:确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率

2、定制化风量设计:根据客户的具体需求,定制风量,送风单元结构均匀布置,确保空气流通的均匀性,进一步提升制程质量。

3、超准温度控制:温度控制精度高达±0.01℃,远超行业标准,为产线环境提供了稳定性,从而确保了产品的优良率。


【产品应用】


1、温度控制精度:±0.1℃~±0.01℃

2、湿度控制精度:±2%RH~±1%RH

3、广泛适用领域:该设备广泛应用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂等精密温湿度控制领域,助力企业提升产品质量,确保生产过程的稳定与高效。





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