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PTHC系列低温液冷机

简要描述:PTHC系列低温液冷机应用于晶圆测试的高低温冷热台(晶圆测试载物台)chuck的加热制冷控温,载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温,液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-13
  • 访  问  量:167
详情介绍
品牌proteco/普泰克冷却方式风冷式
价格区间面议产地类别国产
仪器种类一体式应用领域综合

PTHC系列低温液冷机应用于晶圆测试的高低温冷热台(晶圆测试载物台)chuck的加热制冷控温,载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温,液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件。

设备控温范围:-80℃~200℃

Chuck盘面控制温度:-60℃

温度稳定性:±0.1℃

制冷系统:采用双极压缩制冷系统

定制:可按要求定制-60℃液冷制冷机



    参数看清楚

型号

  • 设备名称

  • 制冷方式

  • 操作面板

  • 载冷剂

  • 全密闭系统

  • 介质温度范围

  • 温度精度

  • 温度稳定性

  • 温度反馈

  • 控温对象

  • 显示分辨率

  • 通信协议

  • 外部输入

  • 存储功能

  • 冷凝方式

  • 安全防护

液冷制冷机

  • PTHC系列低温液冷机

  • 双级复叠制冷

  • 7英寸彩色触摸屏,中文显示,操作简便 、显示直观, 可显示 、记录 温度曲线和测试数据

  • 氟化液或硅油

  • 管道材质:SUS304,采用全密闭式结构设计

  • -80℃ ~ 200℃

  • 出口温度±0.5 ℃

  • ± 0.1 ℃

  • 设备导热介质温度反馈PT100 (回口温度 、 出口温度) ,控晶圆测试chuck盘温度

  • 设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度)

  • 0.01K

  • MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口

  • 外置测温传感器端口 、USB数据接口

  • 试验执行时, 可实时显示图形曲线, 显示内容;温度设定实际值,执 行程序周期,程序执行中具有跳文件,保持功能。

  • 风冷

  • 设备运行状态实时显示,故障信息自动诊断, 多项报警保护: 电源故 障 ,压缩机过载 、循环泵热过载 、制冷低压报警 、 制冷高压报警 、超 温 、温度模块故障 、 电加热防干烧设计等保护功能。





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